Tóm tắt

Giáo trình “Công nghệ chế tạo linh kiện bán dẫn và mạch vi điện tử ’ đã được giảng dạy ở trường Đại học Bách khoa Hà Nội từ cuối những năm 1970 của th ế kỷ trước, đặc biệt là sau khi có Phòng thí nghiệm Vi điện tử MOS do Hà Lan viện trợ năm 1977. Từ đó đến nay giáo trình liên tục được giảng dạy cho sinh viên ngành Vật lý kỹ thuật và gần đây cho cả ngành Điện tử - Viễn thông của trường. Giáo trình này thường được dạy sau các giáo trình như Vật lý linh kiện bán dẫn hay Cấu kiện điện tử. Vì vậy, nội dung giáo trình chỉ liên quan đến các khâu công nghệ chủ yếu trong quy trình chế tạo mạch vi điện tử, mà không đi sâu phân tích nguyên lý hoạt động của các linh kiện cụ thể, trừ một số linh kiện đặc biệt, hoặc vì lý do cần thiết để hiểu rõ hơn k h âu công nghệ nào đó. Tuy một trong hai tác giả đã có hdn 30 năm kinh nghiệm giảng dạy và nghiên cứu về công nghệ vi điện tử, nhưng, như đã nói ở trên, đây là lĩnh vực thay đổi vô cùng nhanh chóng, nên không khỏi có những kỹ thuật mối nhất chưa được cập nhật trong tài liệu